Fabricação de Máscaras e Metais Finos no CTI Renato Archer

CTI Renato Archer • Microfabricação • Fotomáscaras • Filmes Finos

Serviço de Fabricação de Máscaras e Deposição de Metais Finos no CTI Renato Archer

Entenda a infraestrutura, as especificações técnicas, as etapas de fabricação de fotomáscaras por escrita direta, a cópia fotolitográfica, a deposição de ouro, alumínio e cromo e o fluxo oficial para solicitar o serviço tecnológico ao CTI Renato Archer.

Resumo direto: o CTI Renato Archer oferece um serviço de microfabricação estruturado em três atividades que podem ser avaliadas separadamente: fabricação de fotomáscaras por escrita direta DWL, cópia de fotomáscaras em sistema Tamarack e deposição de metais finos por evaporação térmica. A Carta de Serviços informa linha crítica de 1,0 µm para a fabricação das máscaras e deposição de Au, Al e Cr com espessura máxima de 250 nm.
DWL Fotomáscaras Fotolitografia Evaporação térmica Ouro Alumínio Cromo LAmina CTI-Nano SisNANO
3 módulos atividades de microfabricação avaliáveis separadamente
1,0 µm linha crítica informada para a fabricação de fotomáscaras
250 nm espessura máxima informada para os metais depositados
Au • Al • Cr metais expressamente relacionados na Carta de Serviços

1. Contexto institucional e papel do CTI Renato Archer

O Centro de Tecnologia da Informação Renato Archer — CTI Renato Archer — é uma unidade de pesquisa do Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação (MCTI), sediada em Campinas, Estado de São Paulo. Desde sua criação, desenvolve pesquisa, desenvolvimento tecnológico, inovação e atividades de cooperação com agentes da academia, do governo e do setor produtivo.

A instituição reúne infraestrutura laboratorial especializada em áreas como micro e nanoeletrônica, nanotecnologia, materiais, manufatura avançada, inteligência artificial, tecnologias para saúde e outras tecnologias habilitadoras. Seu modelo institucional favorece tanto a execução de projetos próprios quanto o atendimento de demandas externas de pesquisa, desenvolvimento e prestação de serviços tecnológicos.

Entre as estruturas compartilhadas encontram-se os Laboratórios Abertos, concebidos para permitir a utilização de instalações especializadas por pesquisadores, universidades, instituições públicas, empresas, startups e inventores, conforme a modalidade de acesso e a avaliação aplicável a cada projeto.

Validação institucional: a página oficial do CTI define a instituição como unidade de pesquisa do MCTI e informa sua atuação em parceria com o setor privado, a academia e o governo para promover inovação e fortalecer a capacidade produtiva nacional.

2. LAmina, CTI-Nano e a infraestrutura multiusuária

No campo da micro e nanofabricação, destaca-se o Laboratório Aberto de Micro e Nanofabricação — LAmina. A estrutura se insere no ecossistema de laboratórios abertos do CTI e se relaciona ao CTI-Nano, arranjo laboratorial dedicado a atividades de pesquisa, desenvolvimento e inovação em nanodispositivos e tecnologias correlatas.

Segundo informações institucionais do CTI, o CTI-Nano integra o Sistema Nacional de Laboratórios em Nanotecnologias — SisNANO — como laboratório estratégico e é organizado em torno de três principais laboratórios abertos: LAmina, LAimage e LApacs, além de laboratórios de apoio.

Esse arranjo permite apoiar projetos envolvendo diferentes estágios do desenvolvimento de nanodispositivos eletrônicos e fotônicos, incluindo desenho, fabricação, encapsulamento e caracterização eletro-óptica, respeitada a disponibilidade de infraestrutura, o escopo técnico de cada laboratório e a modalidade de contratação ou cooperação aplicável.

3. O que compreende o serviço de fabricação de máscaras e deposição de metais

A Carta de Serviços do Governo Federal descreve o serviço do CTI como um conjunto de três etapas distintas de microfabricação, que podem ser discutidas separadamente com o cliente para avaliação da viabilidade técnica de cada processo.

1. Fotomáscara por escrita direta

Fabricação de fotomáscara empregando gerenciador óptico de padrões DWL, podendo incluir tratamento dos dados fornecidos pelo cliente, processo fotolitográfico, revelação, inspeção e caracterização.

2. Cópia de fotomáscara

Reprodução de fotomáscara existente utilizando copiadora Tamarack com carregamento manual e alinhamento para diferentes dimensões e geometrias de substrato.

3. Deposição de metais finos

Evaporação térmica de filmes metálicos sobre diferentes tipos de substrato, incluindo deposição de ouro, alumínio e cromo.

4. Fabricação de fotomáscaras por escrita direta — DWL

Na escrita direta, o padrão geométrico a ser fabricado é produzido a partir de informações digitais do projeto e transferido para a camada fotossensível do substrato por um sistema óptico de geração de padrões. Essa abordagem é particularmente importante para atividades de prototipagem porque permite produzir estruturas personalizadas sem a necessidade de uma cadeia industrial completa de fabricação de máscaras.

O serviço oficial informa que a fabricação pode envolver o tratamento dos dados fornecidos pelo cliente, a geração do padrão óptico, o processo fotolitográfico de revelação da imagem e a posterior inspeção e caracterização da máscara produzida.

A especificação publicada pelo CTI estabelece uma dimensão crítica de linha de 1,0 µm. Podem ser empregadas placas de vidro soda-cálcico e quartzo.

Dimensões das fotomáscaras

A Carta de Serviços relaciona máscaras quadradas de 3 × 3, 4 × 4, 5 × 5 e 6 × 6 polegadas e informa que a área útil de gravação é inferior à dimensão total da placa.

Atenção à especificação: a redação oficial também menciona possibilidade de até “8 polegadas quadradas”, mas a Carta de Serviços não detalha todas as combinações de dimensão e área útil correspondentes. Para projetos próximos aos limites físicos do equipamento, a dimensão efetivamente processável deve ser confirmada diretamente com a equipe técnica do CTI antes do envio da proposta.
Arquivos CAD: formatos como GDSII e CIF são tecnicamente usuais em ambientes de microfabricação, mas a Carta de Serviços consultada não fixa publicamente quais extensões são obrigatoriamente aceitas pelo equipamento. O formato, a hierarquia de layers, as unidades e as regras do leiaute devem ser confirmados com o CTI antes da contratação.

5. Cópia de fotomáscaras por fotolitografia

O segundo módulo do serviço permite fabricar uma cópia de uma fotomáscara já existente. A reprodução é realizada por meio de copiadora Tamarack, com carregamento manual e sistema de alinhamento de substratos.

Do ponto de vista tecnológico, a duplicação de uma máscara matriz pode ser útil quando o projeto necessita preservar o master original, disponibilizar máscaras adicionais para diferentes etapas experimentais ou reduzir o desgaste decorrente do uso repetitivo em operações fotolitográficas.

Conforme a especificação publicada, o equipamento pode trabalhar com substratos quadrados de 2,5; 3; 4; 5 e 6 polegadas e substratos redondos de 3 e 4 polegadas.

6. Deposição de filmes finos metálicos por evaporação térmica

O terceiro módulo é destinado à deposição de filmes metálicos finos mediante evaporação térmica. Trata-se de uma técnica de deposição física em fase de vapor — PVD — em que o material de interesse é aquecido e vaporizado em ambiente controlado, permitindo que seus átomos se depositem sobre o substrato.

A Carta de Serviços relaciona expressamente os metais ouro (Au), alumínio (Al) e cromo (Cr), com espessura máxima de 250 nm.

Em aplicações de microeletrônica e sensores, o ouro e o alumínio podem exercer funções condutoras, formar eletrodos, contatos, trilhas, barramentos ou estruturas ópticas. O cromo é amplamente empregado em microfabricação como material metálico e pode, dependendo da arquitetura do dispositivo, integrar sistemas multicamadas ou exercer função de adesão.

Substratos relacionados pelo CTI

  • Vidro soda-cálcico;
  • Vidro borossilicato;
  • Alumina;
  • Vitrocerâmica;
  • Aço inoxidável;
  • Silício;
  • Quartzo;
  • Kapton e outros substratos cuja compatibilidade técnica seja confirmada.

7. Quadro técnico consolidado

Etapa Equipamento ou tecnologia Especificações principais Substratos / dimensões
Fabricação de fotomáscaras Gerenciador óptico de padrões DWL Tratamento de dados, fotolitografia, revelação, inspeção e caracterização. Linha crítica informada: 1,0 µm. Máscaras de 3 × 3, 4 × 4, 5 × 5 e 6 × 6 polegadas; vidro soda-cálcico e quartzo.
Cópia de fotomáscaras Copiadora Tamarack Carregamento manual e alinhamento de substratos para reprodução de máscara existente. Quadrados de 2,5; 3; 4; 5 e 6 polegadas e redondos de 3 e 4 polegadas.
Deposição de metais finos Evaporação térmica Au, Al e Cr, com espessura máxima publicada de 250 nm. Vidro, borossilicato, alumina, vitrocerâmica, aço inox, silício, quartzo, Kapton e outros materiais tecnicamente compatíveis.

8. Quem pode utilizar o serviço?

O atendimento não é restrito a grandes empresas ou instituições governamentais. A Carta de Serviços contempla diferentes perfis de usuários interessados em desenvolver projetos científicos ou tecnológicos.

Academia e pesquisa

Pesquisadores, estudantes, universidades e instituições científicas podem submeter demandas relacionadas a pesquisa e desenvolvimento.

Empresas e startups

Empresas privadas e startups podem acessar a infraestrutura para desenvolvimento tecnológico, validação experimental e prototipagem.

Instituições e inventores

Instituições públicas ou privadas e inventores também aparecem entre os públicos indicados na descrição oficial do serviço.

O acesso é condicionado à análise da demanda e ocorre mediante contrapartida financeira ou não financeira, conforme a Política de Inovação do CTI e seu regramento interno.

9. Como solicitar o serviço ao CTI Renato Archer

O procedimento oficial está estruturado em três grandes fases: solicitação e análise inicial, aceite da proposta com formalização do pagamento e execução/finalização do serviço.

Solicitar o serviço O interessado encaminha a demanda para o endereço institucional servicos@cti.gov.br. A equipe técnica verifica capacidade, disponibilidade e recursos necessários para atendimento.
Esclarecer os requisitos técnicos Se forem necessárias informações complementares para elaborar a proposta, a área responsável pode entrar em contato com o cliente por e-mail.
Receber e aceitar a proposta Após a avaliação técnica, o interessado recebe a proposta aplicável ao serviço. O valor não é tabelado publicamente na Carta de Serviços e consta como “sob consulta”.
Formalizar o aceite e pagamento O cliente deve encaminhar o aceite formal da proposta comercial e, quando aplicável, o comprovante do pagamento por e-mail.
Execução técnica A área competente realiza o serviço contratado de acordo com a viabilidade, os recursos disponíveis e as condições formalizadas na proposta.
Comunicação da conclusão A informação sobre a finalização é enviada ao endereço de e-mail informado pelo solicitante. Outras etapas podem variar conforme o serviço efetivamente contratado.

10. Informações operacionais importantes

Parâmetro Informação validada
Público Pesquisadores, estudantes, empresas, startups, instituições públicas ou privadas e inventores.
Canal inicial servicos@cti.gov.br
Triagem inicial A Carta de Serviços informa atendimento imediato para a etapa inicial de solicitação.
Preço Sob consulta.
Prazo total Não há prazo total estimado publicado atualmente na Carta de Serviços.
Modalidade de acesso Contrapartida financeira ou não financeira, conforme Política de Inovação e regramento interno do CTI.
Atendimento ao usuário Submetido às diretrizes da Lei nº 13.460/2017 e às prioridades previstas na legislação aplicável.
Não há prazo fixo de fabricação publicado. A expressão “atendimento imediato” da Carta de Serviços refere-se à etapa inicial de atendimento/triagem e não deve ser interpretada como fabricação imediata da máscara ou conclusão imediata da deposição.

11. O que preparar antes de consultar o CTI

Embora os requisitos finais dependam do projeto, a preparação técnica prévia tende a reduzir a necessidade de retrabalho e facilita a análise de viabilidade.

  • Descrição objetiva do dispositivo ou protótipo a desenvolver;
  • Identificação da etapa que se pretende contratar;
  • Dimensões externas da fotomáscara ou substrato;
  • Dimensão mínima das geometrias relevantes;
  • Arquivo de leiaute ou documentação CAD disponível;
  • Material do substrato;
  • Metal pretendido: Au, Al ou Cr;
  • Espessura desejada do filme metálico;
  • Quantidade de amostras;
  • Informação sobre tratamentos ou processos previamente realizados;
  • Necessidade de etapas adicionais de caracterização ou integração;
  • Prazo desejado para o projeto, para avaliação de disponibilidade.

12. Integração com outros serviços tecnológicos do CTI

A relevância estratégica do serviço aumenta quando se considera a variedade de competências disponíveis no CTI Renato Archer. A própria página oficial de serviços apresenta, entre os serviços recomendados ou relacionados, atividades como microssoldagem, análise por microscopia eletrônica de varredura, corte de substratos, inspeção óptica e abertura de encapsulamento.

Importante: essa relação não significa que esses serviços façam automaticamente parte da contratação de fabricação de máscaras ou deposição de metais. Cada atividade pode possuir escopo, viabilidade, orçamento, requisitos, disponibilidade e procedimento próprios.
Projeto e leiaute
Fotomáscara
Processamento e metalização
Individualização / montagem
Caracterização
Serviço correlato Possível relação técnica Observação
Corte de substratos Pode ser empregado para seccionamento ou individualização de substratos e dispositivos. Consultar escopo e compatibilidade separadamente.
Microssoldagem Pode integrar etapas posteriores de interconexão elétrica e empacotamento. Serviço próprio, sujeito à análise técnica.
Microscopia eletrônica de varredura Pode apoiar atividades de análise morfológica e caracterização de estruturas compatíveis com a técnica. A medição pretendida deve ser validada com o laboratório.
Inspeção visual por microscopia óptica Pode auxiliar na inspeção de superfícies, padrões, estruturas e componentes. Contratação independente quando aplicável.
Abertura de encapsulamento Pode ser útil em atividades específicas de análise de componentes e engenharia reversa. Não constitui etapa da fabricação de fotomáscara.

13. Aplicações tecnológicas das fotomáscaras e filmes metálicos

A combinação de litografia, geração de padrões e deposição de filmes finos possui aplicações relevantes em diferentes campos da engenharia e da ciência aplicada. A possibilidade de produzir geometrias micrométricas e combinar metais condutores com substratos rígidos ou flexíveis permite explorar diversas arquiteturas experimentais.

Sensores e biossensores

Eletrodos metálicos e geometrias microfabricadas podem integrar sensores eletroquímicos, físicos, químicos e dispositivos de diagnóstico.

Microfluídica

Fotomáscaras podem participar da fabricação de estruturas utilizadas em canais, plataformas lab-on-chip e sistemas microfluídicos.

MEMS

Processos fotolitográficos são tecnologias habilitadoras para a fabricação e prototipagem de sistemas microeletromecânicos.

Microeletrônica

Trilhas, contatos e estruturas metálicas podem integrar protótipos, circuitos e componentes experimentais.

Fotônica e optoeletrônica

Filmes e microestruturas podem ser explorados em dispositivos ópticos, fotônicos e optoeletrônicos.

Eletrônica flexível

A presença do Kapton entre os substratos mencionados pelo serviço amplia as possibilidades experimentais envolvendo materiais flexíveis.

14. Importância para prototipagem e desenvolvimento tecnológico

Na microeletrônica, a passagem de um desenho digital para uma estrutura física pode exigir equipamentos de alto custo, ambientes especializados, processos fotolitográficos e conhecimento acumulado em processamento de materiais. Essa barreira tecnológica é especialmente relevante para grupos de pesquisa, startups e empresas que ainda se encontram nas fases de prova de conceito e prototipagem.

A existência de uma infraestrutura pública multiusuária reduz a necessidade de cada organização internalizar imediatamente toda a cadeia de equipamentos necessária à microfabricação. Na prática, laboratórios compartilhados podem funcionar como instrumentos para antecipar testes, validar geometrias, estudar materiais e amadurecer tecnologias antes da transição para escalas superiores de fabricação.

O benefício deve ser analisado de forma técnica, e não apenas econômica. Um laboratório especializado concentra conhecimento de processos, equipamentos de alto valor, procedimentos experimentais e experiência na avaliação de compatibilidade entre materiais e tecnologias.

15. CTI-Tec, deep tech e integração com o ecossistema de inovação

A infraestrutura tecnológica do CTI também se conecta ao desenvolvimento do Parque Tecnológico CTI-Tec, instalado no campus da instituição em Campinas. A gestão operacional do parque envolve parceria com a Fundação de Desenvolvimento da Pesquisa do Agronegócio — Fundepag.

Em 2026, CTI-Tec e Fundepag divulgaram editais de fluxo contínuo relacionados a incubação, pré-incubação e residência de empresas de base científica. Entre as áreas tecnológicas abrangidas pelas iniciativas do parque aparecem micro e nanoeletrônica, nanotecnologia, sensores, Internet das Coisas, materiais avançados, biofabricação, inteligência artificial e outras áreas alinhadas às competências do CTI.

Para startups de tecnologia profunda — deep tech —, a proximidade com infraestrutura de pesquisa e desenvolvimento pode facilitar ciclos de validação, experimentação e evolução tecnológica. Entretanto, o ingresso no CTI-Tec não deve ser interpretado como acesso automático e irrestrito a todos os equipamentos do CTI: utilização de laboratórios e contratação de serviços permanecem sujeitas às regras e modalidades específicas aplicáveis.

16. Impacto estratégico e soberania tecnológica

A disponibilidade nacional de infraestrutura de micro e nanofabricação possui relevância que transcende a execução de serviços laboratoriais isolados. Equipamentos para litografia, deposição, caracterização e empacotamento demandam investimentos elevados e conhecimento técnico especializado, o que torna sua concentração em infraestruturas multiusuárias uma ferramenta importante para pesquisa e inovação.

Para projetos em estágios iniciais, a fabricação local de fotomáscaras e a possibilidade de testar filmes metálicos podem reduzir a necessidade de recorrer imediatamente a cadeias internacionais de prototipagem, permitindo iterações de projeto no ambiente nacional.

Essa capacidade é particularmente relevante para segmentos como semicondutores, sensores, sistemas embarcados, equipamentos médicos, dispositivos fotônicos, Internet das Coisas, materiais avançados e eletrônica flexível. Trata-se de uma infraestrutura que pode contribuir para ampliar competências locais e apoiar a evolução de tecnologias até níveis mais avançados de maturidade.

Perspectiva estratégica: expressões como “soberania tecnológica” ou “redução da dependência externa” representam uma análise dos efeitos potenciais de infraestruturas nacionais de PD&I. Elas não significam que um único serviço do CTI substitua integralmente uma foundry ou toda a cadeia industrial de semicondutores.

17. Pontos críticos antes da contratação

  • Confirmar se a resolução mínima do projeto é compatível com a linha crítica publicada para o processo.
  • Validar previamente a dimensão física e a área útil necessária da fotomáscara.
  • Confirmar com o CTI o formato eletrônico dos arquivos de leiaute.
  • Informar corretamente o material e a geometria do substrato.
  • Verificar a compatibilidade do substrato com o processo de deposição.
  • Especificar o metal e a espessura pretendida.
  • Verificar previamente a disponibilidade dos recursos necessários.
  • Não considerar o prazo de triagem como prazo de produção.
  • Solicitar orçamento antes de estabelecer o cronograma definitivo do projeto.
  • Consultar separadamente outros serviços de caracterização, individualização ou empacotamento quando necessários.

18. Perguntas frequentes

O CTI fabrica fotomáscaras?
Sim. A Carta de Serviços do Governo Federal informa a fabricação de fotomáscaras utilizando gerenciador óptico de padrões DWL, incluindo, conforme o caso, tratamento dos dados, processo fotolitográfico, revelação, inspeção e caracterização.
Qual é a menor linha informada pelo serviço?
A especificação pública indica linha crítica de 1,0 µm para a fabricação de fotomáscaras.
O CTI também copia uma fotomáscara existente?
Sim. A descrição oficial prevê fabricação de cópia utilizando copiadora Tamarack com carregamento manual e alinhamento.
Quais metais podem ser depositados?
A Carta de Serviços relaciona ouro, alumínio e cromo.
Qual é a espessura máxima publicada?
A página oficial informa espessura máxima de 250 nm para os metais contemplados pelo serviço.
O serviço possui preço fixo?
Não há tabela pública de preço na Carta de Serviços. O valor consta como “sob consulta” e depende da proposta aplicável ao atendimento.
Qual é o prazo?
A etapa inicial aparece como atendimento imediato, mas o prazo total do serviço está atualmente indicado como não estimado. Portanto, a disponibilidade e o cronograma de fabricação devem ser confirmados na proposta.
Startup pode contratar?
Sim. Startups estão expressamente incluídas entre os públicos que podem utilizar o serviço, juntamente com pesquisadores, estudantes, empresas, instituições públicas ou privadas e inventores.
Posso contratar apenas a deposição de metal?
A descrição oficial informa que as três etapas podem ser discutidas separadamente com o cliente, sempre sujeitas à análise de viabilidade.

19. Conclusão

O Serviço de Fabricação de Máscaras por Escrita Direta, Fotolitografia por Copiadora e Deposição de Metais Finos do CTI Renato Archer representa uma infraestrutura relevante para pesquisa, desenvolvimento e prototipagem em micro e nanotecnologia no Brasil.

A combinação de geração de fotomáscaras por DWL com linha crítica informada de 1,0 µm, reprodução de máscaras em copiadora Tamarack e deposição térmica de filmes de ouro, alumínio e cromo com espessura de até 250 nm permite atender diferentes necessidades experimentais de universidades, instituições científicas, empresas, startups e inventores.

O caráter multiusuário da infraestrutura do CTI e sua articulação com competências de fabricação, imageamento, caracterização e empacotamento ampliam o potencial de desenvolvimento de projetos complexos. Cada etapa, contudo, deve ser previamente discutida com a equipe técnica e submetida à análise de disponibilidade, capacidade, recursos e viabilidade.

Para organizações que trabalham com sensores, microeletrônica, MEMS, microfluídica, dispositivos fotônicos, eletrônica flexível ou outras tecnologias habilitadoras, o serviço constitui uma alternativa nacional relevante para transformar leiautes e conceitos de engenharia em estruturas físicas experimentais.

Fontes consultadas

  1. Governo Federal — Serviço de fabricação de máscaras por escrita direta, fotolitografia por copiadora e deposição de metais finos — CTI Renato Archer .
  2. CTI Renato Archer — Sobre o CTI .
  3. CTI Renato Archer — CTI-Nano e participação no SisNANO .
  4. CTI Renato Archer — Parque Tecnológico CTI-Tec e editais de incubação e residência .
  5. CTI Renato Archer — Parceria com a Fundepag para gestão do CTI-Tec .
  6. Presidência da República — Lei nº 13.460/2017 .
  7. Presidência da República — Lei nº 10.048/2000 .

Nota editorial: conteúdo informativo elaborado a partir de informações institucionais e técnicas disponíveis em fontes oficiais. Equipamentos, insumos, capacidade, formatos de arquivo, preços, disponibilidade, prazos e condições de acesso podem ser atualizados pelo CTI Renato Archer. Recomenda-se confirmar as especificações diretamente com a instituição antes de contratar, fabricar ou definir o cronograma de um projeto. O Direto Legaliza não representa o CTI Renato Archer nem o MCTI.